AMAT 1007-0016控制器模块

 AMAT  1007-0016控制器模块

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

AMAT 1007-0016 控制器模块技术说明

1. 基本信息

• 型号：1007-0016

• 制造商：Applied Materials（应用材料公司）

• 设备类型：半导体设备专用控制器

• 适用设备：主要应用于200mm/300mm晶圆处理系统

2. 核心功能

• 设备主控制系统核心组件

• 负责设备逻辑控制和时序管理

• 与各子系统（传输/工艺/检测）通信协调

3. 典型应用

• 晶圆传输系统控制

• 工艺设备时序管理

• 设备安全联锁控制

4. 技术特点

• 采用实时操作系统（VxWorks）

• 支持SECS/GEM通信协议

• 内置设备状态监控功能

• 双冗余电源设计

5. 维护要点

1. 日常检查：

   • 确认状态指示灯（LED）正常

   • 检查散热风扇运转情况

   • 记录控制器运行日志

2. 故障处理：

   • 发生故障时优先保存系统日志

   • 检查背板连接器接触状态

   • 验证供电电源稳定性（24VDC ±5%）

3. 更换步骤：

   • 停机后断开所有连接线

   • 记录原有跳线设置

   • 新模块需加载备份配置文件

英文资料：

AMAT 1007-0016 Controller Module Technical Description

1. Basic information

Model: 1007-0016

Manufacturer: Applied Materials

Equipment type: Semiconductor equipment dedicated controller

Applicable equipment: mainly used in 200mm/300mm wafer processing systems

2. Core functions

Core components of the equipment main control system

Responsible for equipment logic control and timing management

Coordinate communication with various subsystems (transmission/process/detection)

3. Typical applications

Wafer transfer system control

Process equipment timing management

Equipment safety interlock control

4. Technical features

Adopting real-time operating system (VxWorks)

Support SECS/GEM communication protocol

Built in device status monitoring function

Dual redundant power supply design

5. Maintenance points

Daily inspection:

Confirm that the status indicator light (LED) is functioning properly

Check the operation of the cooling fan

Record the operation log of the controller

Fault handling:

Prioritize saving system logs in the event of a malfunction

Check the contact status of the backplane connector

Verify the stability of the power supply (24VDC ± 5%)

Replacement steps:

Disconnect all connecting wires after shutdown

Record the original jumper settings

New module needs to load backup configuration file

2.产      品      展      示      

3.其他产品

Bachmann IPC1412 FRE CM1G1 1G CF8G XPE通信处理器

IS200AEPGG1AAA 继电器输出模块

 61-0476-20 印刷电路板

4.其他英文产品

GESVDU-1D-8946 Input/Output Module

GESADA-1 Input/Output Module

ASEA AE-6003 pulse generator